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真空碳化爐由爐體、爐蓋、感應器、熔煉坩堝、保溫材料、加料箱、爐蓋升降機構(gòu)、真空機組、中頻電源、電控柜、測溫儀器組成。在運行期間可以連續(xù)不間斷的運行，并通過提升溫度的方式達到操作目的的設(shè)備。爐體類型分為立式和臥式兩種，具有加熱溫度高、熔煉速度快、結(jié)構(gòu)緊湊、布局合理，操作簡單等特點。
真空碳化爐中為了減小腔體內(nèi)壁的外表積，一般用噴砂或電解拋光的辦法來取得平整的外表。真空爐中超高真空體系的腔體，更多的是利用電解拋光來進行外表處理。超高真空腔體的氬弧焊接，原則上有必要選用內(nèi)焊，即焊接面是在真空一側(cè)，避免存在死角而發(fā)作虛漏。真空碳化爐中真空腔體不允許表里兩層焊接和兩層密封。
真空腔體的內(nèi)壁外表吸附很多的氣體分子或其他有機物，成為影響真空度的放氣源。為實現(xiàn)超高真空，要對腔體進行150～250℃的高溫烘烤，以促使材料外表和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤辦法有在腔體外壁環(huán)繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經(jīng)濟簡略的烘烤辦法是使用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，避免熱量散失的同時也可使腔體均勻受熱。
