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多晶硅定向凝固爐

多晶硅定向凝固爐

  • 所屬分類:真空冶金設備
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  • 發布時間:2022-02-24 21:59:17
  • 產品概述

多晶硅定向凝固爐(簡稱結晶爐)

多晶硅定向凝固爐


多晶硅定向凝固爐(簡稱結晶爐)

用于:太陽能級硅錠制造,也可以用于其他半導體材料提純。

多晶硅定向凝固爐

1、控制精度高,結晶速度可調節

2、采用石墨電阻或感應加熱熔煉法,增加溶液攪拌,熔煉速度快

3、定向凝固保溫采用特制加熱電源

4、具有三相電流平衡,維護費用低

5、采用恒溫度控制儀,可設置148段加熱工藝曲線 

6、爐室采用高真空爐體,真空度高,抽氣速度快

多晶硅定向凝固爐

● 熔煉容量: 10-450KG 

● 電源功率:40-450KW   

設計溫度:≥1700℃

工作溫度:1550℃

升溫速率:40℃/Min 

爐溫均勻性:±5℃  

極限真空度: 6.67×10-2Pa  

壓升率: 0.01PaL/S       

額定充氣壓力:0.05Mpa     

鑄錠方式:坩堝下降/保溫桶提升定向凝固 

伺服控制范圍:0.01mm-6mm/Min          

定向凝固速率 :0.01mm-0.5mm/Min        

坩堝快速返回速度:80-100 mm/Min

多晶硅定向凝固爐

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